Magnetronsko naprševanje je nova metoda nanašanja s fizično paro, v primerjavi s prejšnjo metodo nanašanja z izhlapevanjem pa so njene prednosti v mnogih pogledih precej izjemne.Kot zrela tehnologija se magnetronsko razprševanje uporablja na številnih področjih.
Princip magnetronskega razprševanja:
Ortogonalno magnetno polje in električno polje se dodata med razpršeni ciljni pol (katodo) in anodo, potreben inertni plin (običajno plin Ar) pa se napolni v visokovakuumsko komoro.Trajni magnet tvori magnetno polje 250-350 gausov na površini ciljnega materiala, ortogonalno elektromagnetno polje pa je sestavljeno z visokonapetostnim električnim poljem.Pod vplivom električnega polja, ionizacija plina Ar v pozitivne ione in elektrone, tarča in ima določen negativni tlak, od tarče iz pola z učinkom magnetnega polja in poveča verjetnost ionizacije delovnega plina, tvori plazmo visoke gostote blizu katoda, ion Ar pod delovanjem lorentzove sile, pospeši, da odleti na ciljno površino, bombardira ciljno površino z veliko hitrostjo, razpršeni atomi na tarči sledijo principu pretvorbe momenta in odletijo stran od ciljne površine z visoko kinetično energije do filma za nanašanje substrata.
Magnetronsko razprševanje je na splošno razdeljeno na dve vrsti: razprševanje z enosmernim tokom in RF razprševanje.Načelo opreme za brizganje z enosmernim tokom je preprosto, hitrost brizganja kovin pa je visoka.Uporaba RF razprševanja je obsežnejša, poleg razprševanja prevodnih materialov, pa tudi razprševanja neprevodnih materialov, pa tudi priprave reaktivnega razprševanja oksidov, nitridov in karbidov ter drugih sestavljenih materialov.Če se frekvenca RF poveča, postane mikrovalovno plazemsko razprševanje.Trenutno se običajno uporablja mikrovalovno plazemsko razprševanje z elektronsko ciklotronsko resonanco (ECR).
Material ciljne prevleke z magnetronskim razprševanjem:
Material za kovinsko brizgalno tarčo, prevlečna zlitina za brizgalno prevleko, keramični material za brizgalno prevleko, boridna keramična tarčna tarča, karbidna keramična tarčna tarča, fluoridna keramična tarčna tarča, nitridna keramična tarčna tarča, oksidna keramična tarča, selenidna keramična tarča za naprševanje, silicidni keramični tarčni materiali za naprševanje, sulfidni keramični tarčni tarčni material, teluridna keramična tarča za naprševanje, druga keramična tarča, s kromom dopirana keramična tarča iz silicijevega oksida (CR-SiO), tarča iz indijevega fosfida (InP), tarča iz svinčevega arzenida (PbAs), indijev arzenid cilj (InAs).
Čas objave: 3. avgusta 2022