Zdaj vse več uporabnikov razume vrste tarč innjegove aplikacije, vendar njegova podrazdelitev morda ni zelo jasna.Zdaj pa pojdimoRSM inženir deliti z vaminekaj indukcije magnetronskih razpršilnih tarč.
Tarča za naprševanje: tarča za kovinsko brizgalno prevleko, tarča za naprševanje iz zlitine, tarča za keramično naprševanje, tarča za naprševanje iz boridne keramike, tarča za naprševanje iz karbidne keramike, tarča za naprševanje iz fluoridne keramike, tarča za naprševanje iz nitridne keramike, tarča iz oksidne keramike, tarča za naprševanje iz selenidne keramike, silicidno keramično tarčo tarča, sulfidna keramična tarča za brizganje, tarča za brizganje iz teluridne keramike, druge keramične tarče, keramična tarča iz silicijevega oksida, dopirana s kromom (CR SiO), tarča iz indijevega fosfida (INP), tarča iz svinčevega arzenida (pbas), tarča iz indijevega arzenida (InAs).
Magnetronsko razprševanje je na splošno razdeljeno na dve vrsti: razprševanje z enosmernim tokom in RF razprševanje.Načelo opreme za brizganje z enosmernim tokom je preprosto, njegova hitrost pa je tudi hitra pri brizganju kovine.RF razprševanje se pogosto uporablja.Poleg razprševanja prevodnih podatkov lahko razprši tudi neprevodne podatke.Tarča za razprševanje se lahko uporablja tudi za reaktivno razprševanje za pripravo podatkov o spojinah, kot so oksidi, nitridi in karbidi.Če se RF frekvenca poveča, bo to postalo mikrovalovno plazemsko razprševanje.Trenutno se pogosto uporablja mikrovalovno plazemsko razprševanje z elektronsko ciklotronsko resonanco (ECR).
Čas objave: 26. maj 2022