Vakuumsko prevleko pri izbiri ciljnih materialov za razprševanje je trenutno težava za ljudi, saj je prevleka z razprševanjem, zlasti razvoj veščin magnetronskega razprševanja, mogoče reči za vse informacije, da bi lahko ciljali na pripravo materiala za tanke plasti. z ionskim obstreljevanjem, ker razprševanje ciljnega materiala v procesu prevleke na vrsto substrata pomembno vpliva na kakovost razpršilnega filma, zato so zahteve glede ciljnega materiala strožje.Tukaj bomo skupaj z urednikom Beijing Relaxation spoznali vlogo tarče za naprševanje pri vakuumskem nanosu.
一、Načelo izbire in razvrstitev ciljnega materiala
Pri izbiri ciljnega materiala je treba poleg uporabe samega filma upoštevati tudi naslednje probleme:
Problem 1. V skladu z zahtevami glede uporabe in delovanja membrane mora ciljni material izpolnjevati tehnične zahteve glede čistosti, vsebine revije, enotnosti komponent, natančnosti obdelave itd.
Problem 2. Ciljni material mora imeti dobro mehansko trdnost in kemično stabilnost po oblikovanju filma;
Težava 3. Filmski material mora zlahka ustvariti sestavljen film z reakcijskim plinom kot reaktivnim napršenim filmom;
Težava 4. Treba je nastaviti tarčo in matriko, da bosta močna, sicer je treba uporabiti filmski material z dobrim oprijemom na matrico, najprej nabrizgati plast spodnjega filma in nato pripraviti zahtevani filmski sloj;
Vprašanje 5. Glede na izpolnjevanje zahtev glede učinkovitosti filma, manjša kot je razlika med koeficientom toplotnega raztezanja tarče in matrice, tem bolje, da se zmanjša vpliv toplotne obremenitve filma za brizganje;
Priprava več pogosto uporabljenih tarč
(1) cilj kr
Krom kot filmski material za brizganje ni le enostaven za kombiniranje z osnovnim materialom, ima visoko oprijemljivost, krom in oksidni film CrQ3, njegove mehanske lastnosti, kislinska odpornost in toplotna stabilnost so boljši.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. se v glavnem ukvarja z: tarčo iz titana, tarčo iz cirkonija, tarčo iz aluminija, tarčo iz niklja, tarčo iz kroma, tarčo iz volframa, tarčo iz molibdena, bakreno tarčo, silicijevo tarčo, niobijevo tarčo, tantalovo tarčo, titan-silicijeve zlitine tarča, tarča iz titan-niobijeve zlitine, tarča iz titan-volframove zlitine, tarča iz titan-cirkonijeve zlitine, tarča iz zlitine nikelj-krom, tarča iz zlitine silicijev dioksid-aluminij, tarča iz zlitine nikelj-vanadij, tarča iz trikomponentne zlitine krom-aluminij-silicij，Ti al si tarčni material iz trikomponentne zlitine, ki se pogosto uporablja v dekoracijah/trdih površinah in funkcionalnem premazu, arhitekturnem steklu, ploščatem zaslonu/optičnem fotoelektriku, optičnem shranjevanju, elektroniki, tiskarstvu in drugih poklicih.
Čas objave: jun-02-2022