Cilj ima širok trg, področje uporabe in velik razvoj v prihodnosti.Da bi vam pomagali bolje razumeti ciljne funkcije, bo tukaj spodaj inženir RSM na kratko predstavil glavne funkcionalne zahteve cilja.
Čistost: čistost je eden glavnih funkcionalnih indikatorjev tarče, saj ima čistost tarče velik vpliv na funkcijo filma.Vendar pa so v praktični uporabi tudi zahteve glede čistosti tarče drugačne.Na primer, s hitrim razvojem mikroelektronske industrije se velikost silicijeve rezine poveča s 6 "na 8" na 12", širina ožičenja pa se zmanjša z 0,5 um na 0,25 um, 0,18 um ali celo 0,13 um.Prej je 99,995 % ciljne čistosti lahko izpolnjevalo procesne zahteve 0,35 umic, medtem ko priprava linij 0,18 um zahteva 99,999 % ali celo 99,9999 % ciljne čistosti.
Vsebnost nečistoč: nečistoče v ciljnih trdnih snoveh ter kisik in vodna para v porah so glavni viri onesnaženja nanesenih filmov.Tarče za različne namene imajo različne zahteve glede različnih vsebnosti nečistoč.Na primer, cilji iz čistega aluminija in aluminijevih zlitin, ki se uporabljajo v industriji polprevodnikov, imajo posebne zahteve glede vsebnosti alkalijskih kovin in vsebnosti radioaktivnih elementov.
Gostota: da bi zmanjšali pore v trdni tarči in izboljšali delovanje razpršilnega filma, mora imeti tarča običajno visoko gostoto.Gostota tarče ne vpliva le na hitrost razprševanja, ampak vpliva tudi na električne in optične funkcije filma.Večja kot je ciljna gostota, boljša je funkcija filma.Poleg tega sta gostota in trdnost tarče izboljšani, tako da lahko tarča bolje sprejme toplotno obremenitev v procesu naprševanja.Gostota je tudi eden ključnih funkcionalnih indikatorjev tarče.
Čas objave: 20. maj 2022