Kateri so materiali tarč za magnetronsko razprševanje?

Material za kovinsko brizgalno tarčo, prevlečna zlitina za brizgalno prevleko, keramični prevlečni material za brizganje, boridni keramični tarčni material za naprševanje, karbidni keramični tarčni material za naprševanje, fluoridni keramični tarčni material za naprševanje, nitridni keramični tarčni material za naprševanje, oksidna keramična tarča, selenidni keramični tarčni material za naprševanje, Silicidni keramični tarčni materiali za naprševanje, sulfidni keramični tarčni tarčni material, teluridni keramični tarčni tarči, drugi keramični tarči, s kromom dopirani keramični tarči iz silicijevega oksida (CR-SiO), tarča iz indijevega fosfida (InP), tarča iz svinčevega arzenida (PbAs), indijev arzenid cilj (InAs).

Tarčni materiali visoke čistosti in visoke gostote so:

Ciljni material za razprševanje (čistost: 99,9%-99,999%)

1. Kovinska tarča:

Nikljeva tarča, Ni, titanova tarča, Ti, cinkova tarča, Zn, kromova tarča, Cr, magnezijeva tarča, Mg, niobijeva tarča, Nb, kositerova tarča, Sn, aluminijeva tarča, Al, indijeva tarča, In, železova tarča, Fe, Cirkonijeva aluminijeva tarča, ZrAl, titanova aluminijeva tarča, TiAl, cirkonijeva tarča, Zr, aluminij-silicijeva tarča, AlSi, silicijeva tarča, Si, bakrena tarča Cu, tantalova tarča T, A, germanijeva tarča, Ge, srebrna tarča, Ag, kobalt tarča, Co, zlata tarča, Au, gadolinijeva tarča, Gd, lantanova tarča, La, itrijeva tarča, Y, cerijeva tarča, Ce, volframova tarča, W, tarča iz nerjavečega jekla, nikelj-krom tarča, NiCr, hafnijeva tarča, Hf, molibdenova tarča, Mo, Fe-Ni tarča, FeNi, volframova tarča, W itd.

2. Keramični ciljni material

ITO tarča tarča, železov oksid, magnezijev oksid tarča, tarča, tarča, silicijev karbid silicijev nitrid titanov nitrid tarča tarča tarča, tarča, cinkov sulfid, cinkov oksid, kromov oksid, silicijev dioksid, tarča, tarča a silicijev oksid, tarča cerijevega oksida, tarča, pet cirkonijev dioksid kisik HuaEr niobijeva tarča, tarča, titanov dioksid, cirkonijev dioksid, hafnijev tarča, tarča, titanov diborid diborid cirkonijev tarča, volframov trioksid tarča, aluminijev trioksid tarča tantalov pentaoksid, niobijev pentaoksid tarča, magnezijev fluorid tarča, itrijev fluorid tarča, tarča cinkovega selenida, tarča aluminijevega nitrida, tarča silicijevega nitrida, tarča borovega nitrida, tarča titanovega nitrida, tarča silicijevega karbida, tarča litijevega niobata, tarča prazeodimijevega titanata, tarča barijevega titanata, tarča lantanovega titanata, tarča nikljevega oksida, tarča za razprševanje itd. .