Mnogi uporabniki so zagotovo že slišali za izdelek tarče za razprševanje, vendar bi moral biti princip tarče za razprševanje razmeroma neznan.Zdaj pa urednikBogat poseben material (RSM) deli načela magnetronskega razprševanja tarče za razprševanje.
Med razpršeno ciljno elektrodo (katodo) in anodo se doda pravokotno magnetno polje in električno polje, potreben inertni plin (običajno plin Ar) se napolni v visokovakuumsko komoro, trajni magnet tvori 250 ~ 350 Gaussovo magnetno polje na površino ciljnih podatkov in pravokotno elektromagnetno polje se oblikuje z visokonapetostnim električnim poljem.
Pod vplivom električnega polja se plin Ar ionizira v pozitivne ione in elektrone.Cilju se doda določena negativna visoka napetost.Učinek magnetnega polja na elektrone, ki jih oddaja ciljni pol, in verjetnost ionizacije delovnega plina se povečata, tako da se v bližini katode tvori plazma z visoko gostoto.Pod učinkom Lorentzove sile ioni Ar pospešijo do ciljne površine in bombardirajo ciljno površino z zelo visoko hitrostjo. Razpršeni atomi na tarči sledijo principu pretvorbe momenta in odletijo od ciljne površine do substrata z visoko kinetično energijo. za odlaganje filmov.
Magnetronsko razprševanje je na splošno razdeljeno na dve vrsti: tributary razprševanje in RF razprševanje.Načelo opreme za trobno brizganje je preprosto, njegova hitrost pa je tudi hitra pri brizganju kovine.RF razprševanje se pogosto uporablja.Poleg brizganja prevodnih materialov lahko brizga tudi neprevodne materiale.Hkrati izvaja tudi reaktivno razprševanje za pripravo materialov iz oksidov, nitridov, karbidov in drugih spojin.Če se RF frekvenca poveča, bo to postalo mikrovalovno plazemsko razprševanje.Zdaj se pogosto uporablja mikrovalovno plazemsko razprševanje z elektronsko ciklotronsko resonanco (ECR).
Čas objave: 31. maja 2022