Tarča ima številne funkcije in široko uporabo na številnih področjih.Nova oprema za razprševanje skoraj uporablja močne magnete za spiralo elektronov, da pospeši ionizacijo argona okoli tarče, kar poveča verjetnost trka med tarčo in argonovimi ioni,
Povečajte hitrost brizganja.Na splošno se brizganje z enosmernim tokom uporablja za kovinsko prevleko, medtem ko se brizganje z RF komunikacijo uporablja za neprevodne keramične magnetne materiale.Osnovno načelo je uporaba žarilne razelektritve za udarjanje ionov argona (AR) na površino tarče v vakuumu, kationi v plazmi pa bodo pospešeno hiteli na površino negativne elektrode kot brizgani material.Zaradi tega udarca bo material tarče odletel ven in se odložil na substrat ter tako oblikoval film.
Na splošno obstaja več značilnosti filmske prevleke s postopkom brizganja:
(1) Iz kovine, zlitine ali izolatorja je mogoče oblikovati tankoplastne podatke.
(2) Pod ustreznimi nastavitvenimi pogoji je film z enako sestavo mogoče izdelati iz več in neurejenih tarč.
(3) Mešanico ali spojino ciljnega materiala in molekul plina je mogoče izdelati z dodajanjem kisika ali drugih aktivnih plinov v atmosferi praznjenja.
(4) Ciljni vhodni tok in čas razprševanja je mogoče nadzorovati in enostavno je doseči visoko natančno debelino filma.
(5) To je koristno za produkcijo drugih filmov.
(6) Na razpršene delce gravitacija skoraj ne vpliva, tarča in podlaga pa sta lahko prosto organizirana.
Čas objave: 24. maj 2022