Niobijevi ciljni materiali se večinoma uporabljajo v optičnih prevlekah, premazih materialov za površinsko inženirstvo in industriji premazov, kot so toplotna odpornost, odpornost proti koroziji in visoka prevodnost.Na področju optičnega premaza se uporablja predvsem v oftalmoloških optičnih izdelkih, lečah, natančni optiki, premazih z velikimi površinami, 3D premazih in drugih vidikih.
Niobijev tarčni material se običajno imenuje gola tarča.Najprej je privarjen na bakreno zadnjo tarčo, nato pa napršen, da se atomi niobija v obliki oksidov nanesejo na substrat, s čimer se doseže prevleka z brizganjem.Z nenehnim poglabljanjem in širjenjem tehnologije in uporabe niobijeve tarče so se zahteve po enotnosti mikrostrukture niobijeve tarče povečale, kar se kaže predvsem v treh vidikih: prefinjenost velikosti zrn, brez očitne orientacije teksture in izboljšana kemična čistost.
Enakomerna porazdelitev mikrostrukture in lastnosti po tarči je ključnega pomena za zagotavljanje učinkovitosti razprševanja niobijevih tarčnih materialov.Površina niobijevih tarč, ki jih srečamo v industrijski proizvodnji, običajno kaže pravilne vzorce, ki močno vplivajo na zmogljivost razprševanja tarč.Kako lahko izboljšamo stopnjo izkoriščenosti ciljev?
Z raziskavami je bilo ugotovljeno, da je vsebnost nečistoč (ciljna čistost) pomemben dejavnik, ki vpliva na čistost.Kemična sestava surovin je neenakomerna, nečistoče pa obogatene.Po kasnejši obdelavi z valjanjem se na površini materiala niobijeve tarče oblikujejo pravilni vzorci;Odprava neenakomerne porazdelitve komponent surovine in obogatitev z nečistočami lahko prepreči nastanek pravilnih vzorcev na površini niobijevih tarč.Vpliv velikosti zrn in strukturne sestave na tarčni material je lahko skoraj zanemarljiv.
Čas objave: 19. junij 2023