Vakuumski premaz se nanaša na segrevanje in izhlapevanje vira izhlapevanja v vakuumu ali razprševanje s pospešenim ionskim obstreljevanjem in odlaganje na površino substrata, da se tvori enoslojni ali večslojni film.Kakšen je princip vakuumskega premaza?V nadaljevanju nam ga bo predstavil urednik RSM.
1. Vakuumsko izhlapevanje
Izparitveni premaz zahteva, da mora biti razdalja med molekulami hlapov ali atomi od vira izhlapevanja in substratom, ki ga je treba premazati, manjša od povprečne proste poti molekul preostalega plina v prostoru za nanašanje premaza, da se zagotovi, da molekule hlapov izhlapevanje lahko doseže površino substrata brez trčenja.Prepričajte se, da je film čist in čvrst ter da izhlapevanje ne bo oksidiralo.
2. Vakuumsko napršeni premaz
V vakuumu, ko pospešeni ioni trčijo v trdno snov, se na eni strani poškoduje kristal, na drugi strani pa trčijo v atome, ki tvorijo kristal, in nazadnje v atome ali molekule na površini trdne snovi. brizganje navzven.Napršeni material se nanese na substrat, da se tvori tanek film, ki se imenuje vakuumsko naprševanje.Obstaja veliko metod naprševanja, med katerimi je najzgodnejše napršenje z diodami.Glede na različne katodne tarče ga lahko razdelimo na enosmerni (DC) in visokofrekvenčni (RF).Število atomov, ki se razpršijo ob udarcu iona na ciljno površino, se imenuje hitrost razprševanja.Z visoko hitrostjo razprševanja je hitrost nastajanja filma hitra.Hitrost razprševanja je povezana z energijo in vrsto ionov ter vrsto ciljnega materiala.Na splošno se hitrost razprševanja poveča s povečanjem energije človeških ionov, stopnja razprševanja plemenitih kovin pa je višja.
Čas objave: 14. julij 2022