Zaradi visoke temperaturne stabilnosti, visoke odpornosti proti migraciji elektronov in visokega koeficienta emisije elektronov ognjevzdržnega volframa in volframovih zlitin se tarče iz volframa in volframovih zlitin visoke čistosti uporabljajo predvsem za izdelavo vratnih elektrod, povezovalnega ožičenja, slojev difuzijske pregrade itd. polprevodnikov integrirana vezja in imajo visoke zahteve glede čistosti, vsebnosti elementov nečistoč, gostote, velikosti zrn in enotnosti strukture zrn materialov.Zdaj pa si poglejmo dejavnike, ki vplivajo na pripravo volframove tarče visoke čistosti.
1、 Vpliv temperature sintranja
Postopek oblikovanja volframovega ciljnega zarodka je običajno narejen s hladnim izostatičnim stiskanjem.Zrno volframa se bo med postopkom sintranja povečalo.Rast volframovega zrna bo zapolnila vrzel med mejami zrn in tako izboljšala gostoto volframovega cilja.S povečanjem časa sintranja se povečanje gostote volframove tarče postopoma upočasni.Glavni razlog je, da se po večkratnem sintranju kakovost volframove tarče ni bistveno spremenila.Ker je večina praznin na mejah zrn zapolnjenih s kristali volframa, je bila po vsakem sintranju skupna stopnja spremembe velikosti volframove tarče zelo majhna, kar je povzročilo omejen prostor za povečanje gostote volframove tarče.S postopkom sintranja se zrasla zrna volframa zapolnijo v praznine, kar ima za posledico večjo gostoto tarče z manjšo velikostjo delcev.
2、 Učinek časa zadrževanja
Pri enaki temperaturi sintranja se bo kompaktnost volframove tarče izboljšala s podaljšanjem časa zadrževanja sintranja.S podaljšanjem časa zadrževanja se bo povečala velikost zrn volframa, s podaljšanjem časa zadrževanja pa se bodo časi rasti velikosti zrn postopoma upočasnili, kar pomeni, da lahko povečanje časa zadrževanja izboljša tudi delovanje volframova tarča.
3、 Vpliv kotaljenja na lastnosti cilja
Za izboljšanje gostote volframovega ciljnega materiala in pridobitev strukture obdelave volframovega ciljnega materiala je treba srednjo temperaturo valjanja volframovega ciljnega materiala izvesti pod temperaturo rekristalizacije.Če je temperatura valjanja ciljne gredice visoka, bo struktura vlaken ciljne gredice groba in obratno.Ko stopnja toplega valjanja doseže več kot 95 %.Čeprav bo razlika v strukturi vlaken, ki jo povzročajo različna originalna zrna ali različne temperature valjanja, odpravljena, bo notranja struktura tarče tvorila razmeroma enotno strukturo vlaken, tako da višja kot je stopnja obdelave pri toplem valjanju, boljša je zmogljivost tarče
Čas objave: 15. februarja 2023