Ciljni material, ki se uporablja v industriji za shranjevanje podatkov, zahteva visoko čistost, nečistoče in pore pa je treba čim bolj zmanjšati, da se prepreči nastajanje delcev nečistoč med naprševanjem.Ciljni material, ki se uporablja za visokokakovostne izdelke, zahteva, da mora biti velikost kristalnih delcev majhna in enakomerna ter nimajo kristalne orientacije.Spodaj si poglejmo zahteve industrije optičnega shranjevanja za ciljni material?
1. Čistost
V praktičnih aplikacijah se čistost ciljnih materialov razlikuje glede na različne industrije in zahteve.Vendar pa na splošno velja, da večja kot je čistost ciljnega materiala, boljša je učinkovitost napršenega filma.Na primer, v industriji optičnega shranjevanja mora biti čistost ciljnega materiala večja od 3N5 ali 4N
2. Vsebnost nečistoč
Ciljni material služi kot katodni vir pri razprševanju, nečistoče v trdni snovi ter kisik in vodna para v porah pa so glavni viri onesnaženja za nalaganje tankih filmov.Poleg tega obstajajo posebne zahteve za tarče različnih uporab.Če vzamemo za primer industrijo optičnega shranjevanja, mora biti vsebnost nečistoč v tarčah za razprševanje zelo nizka, da se zagotovi kakovost prevleke.
3. Velikost zrn in velikostna porazdelitev
Običajno ima ciljni material polikristalno strukturo z velikostjo zrn od mikrometrov do milimetrov.Pri tarčah z enako sestavo je hitrost razprševanja drobnozrnatih tarč hitrejša kot pri grobo zrnatih tarčah.Pri tarčah z manjšimi razlikami v velikosti zrn bo tudi debelina nanesenega filma enakomernejša.
4. Kompaktnost
Da bi zmanjšali poroznost v trdnem tarčnem materialu in izboljšali učinkovitost filma, se na splošno zahteva, da ima brizgalni tarčni material visoko gostoto.Gostota ciljnega materiala je v glavnem odvisna od postopka priprave.Ciljni material, izdelan z metodo taljenja in litja, lahko zagotovi, da v ciljnem materialu ni por in je gostota zelo visoka.
Čas objave: 18. julij 2023