Veliko prijateljev o vzdrževanju tarče ima več ali manj vprašanj, v zadnjem času se tudi veliko strank posvetuje o težavah, povezanih z vzdrževanjem tarče, naj urednik RSM deli znanje o vzdrževanju tarče z razprševanjem.
Kako je treba vzdrževati razpršilne tarče?
1、 Ciljno vzdrževanje
Da bi se izognili kratkemu stiku in obloku, ki ga povzroči nečista votlina v procesu razprševanja, je treba občasno odstraniti razpršilnike, ki se naberejo na sredini in na obeh straneh razpršilne steze, kar uporabnikom prav tako pomaga pri neprekinjenem razprševanju pri visoki gostoti moči.
2、 Ciljno shranjevanje
Uporabnikom priporočamo, da tarčo (kovinsko ali keramično) shranite v vakuumsko embalažo, zlasti tarčo za prileganje je treba shraniti v vakuumu, da preprečite, da bi oksidacija plasti prileganja vplivala na kakovost prileganja.Kar zadeva embalažo kovinskih tarč, predlagamo, da so zapakirane vsaj v čiste plastične vrečke.
3、 Čiščenje ciljev
Prvi korak je čiščenje z mehko krpo, ki ne pušča vlaken, namočeno v aceton;
Drugi korak je podoben prvemu koraku, čiščenje z alkoholom;
3. korak: očistite z deionizirano vodo.Po čiščenju z deionizirano vodo tarčo postavimo v pečico in sušimo pri 100 ℃ 30 minut.Priporočljivo je, da za čiščenje oksidnih in keramičnih tarč uporabite »krpo, ki ne pušča vlaken«.
Četrti korak je pranje tarče z argonom pri visokem tlaku in nizki vlažnosti, da se odstranijo morebitni nečisti delci, ki lahko povzročijo oblok v brizgalnem sistemu.
4、 Preverjanje kratkega stika in tesnosti
Ko je tarča nameščena, je treba celotno katodo preveriti glede kratkega stika in tesnosti.Ali je prišlo do kratkega stika v katodi, je priporočljivo presoditi z merilnikom upora in meggerjem.Po potrditvi, da v katodi ni kratkega stika, je mogoče izvesti pregled puščanja vode in v katodo lahko vnesete vodo, da ugotovite, ali pušča voda.
5、 Pakiranje in transport
Vse tarče so pakirane v vakuumsko zaprte plastične vrečke s sredstvom za zaščito pred vlago.Zunanji paket je na splošno lesena škatla s plastjo proti trčenju, ki ščiti tarčo in hrbtno ploščo pred poškodbami med transportom in shranjevanjem.
Čas objave: 15. julij 2022