Kako izboljšati stopnjo izkoriščenosti tarčnih materialov iz molibdena

Napršene tarče iz molibdena se zaradi svojih inherentnih prednosti pogosto uporabljajo v elektronski industriji, sončnih celicah, steklenih prevlekah in na drugih področjih.S hitrim razvojem sodobne tehnologije na področju miniaturizacije, integracije, digitalizacije in inteligence bo uporaba molibdenovih tarč še naprej naraščala, vse višje pa bodo tudi zahteve glede kakovosti zanje.Zato moramo najti načine za izboljšanje stopnje izkoriščenosti molibdenovih tarč.Zdaj bo urednik RSM predstavil več metod za izboljšanje stopnje izkoriščenosti razpršenih molibdenovih tarč za vse

1. Dodajte elektromagnetno tuljavo na hrbtno stran

Da bi izboljšali stopnjo izkoriščenosti tarče iz molibdena z razprševanjem, je mogoče dodati elektromagnetno tuljavo na hrbtni strani tarče iz molibdena za razprševanje z ravnim magnetrom, magnetno polje na površini tarče iz molibdena pa je mogoče povečati s povečanjem toka elektromagnetno tuljavo, da bi izboljšali stopnjo izkoriščenosti molibdenove tarče.

2. Izberite material cevaste vrtljive tarče

V primerjavi s ploščatimi tarčami izbira cevaste strukture vrtljive tarče poudarja njene bistvene prednosti.Na splošno je stopnja izkoriščenosti ploščatih tarč le 30 % do 50 %, medtem ko lahko stopnja izkoriščenosti cevastih vrtljivih tarč doseže več kot 80 %.Poleg tega pri uporabi magnetronske razpršilne tarče z vrtečo se votlo cevjo, ker se lahko tarča ves čas vrti okoli sklopa magneta s fiksno palico, na njeni površini ne bo ponovnega odlaganja, zato je življenjska doba vrtljive tarče na splošno več kot 5-krat daljša. kot pri ravninski tarči.

3. Zamenjajte z novo opremo za razprševanje

Ključ do izboljšanja stopnje izkoriščenosti ciljnih materialov je dokončanje zamenjave opreme za brizganje.Med postopkom razprševanja tarčnega materiala za razprševanje molibdena se približno ena šestina razpršenih atomov odloži na steno ali nosilec vakuumske komore, potem ko jih zadenejo vodikovi ioni, kar poveča stroške čiščenja vakuumske opreme in čas izpada.Tako lahko zamenjava nove opreme za razprševanje pomaga izboljšati stopnjo izkoriščenosti tarč iz molibdena za razprševanje.