Vsi vemo, da je brizganje ena glavnih tehnologij za pripravo filmskih materialov.Uporablja ione, ki jih proizvaja vir ionov, da pospeši agregacijo v vakuumu, da tvori visokohitrostni ionski žarek, bombardira trdno površino in ioni izmenjujejo kinetično energijo z atomi na trdni površini, tako da atomi na trdni površini površino zapustite trdno snov in jo nanesite na površino substrata.Bombardirana trdna snov je surovina za nanašanje filma z brizganjem, ki se imenuje tarča za brizganje.
Različne vrste napršenih filmskih materialov se pogosto uporabljajo v polprevodniških integriranih vezjih, snemalnih medijih, ravninskih zaslonih, površinskih premazih orodij in matric itd.
Tarče za razprševanje se uporabljajo predvsem v elektronski in informacijski industriji, kot so integrirana vezja, shranjevanje informacij, zasloni s tekočimi kristali, laserski pomnilniki, elektronska nadzorna oprema itd.;Uporablja se lahko tudi na področju premazovanja stekla;Uporablja se lahko tudi v materialih, odpornih proti obrabi, odpornosti na visoko temperaturno korozijo, vrhunskih dekorativnih izdelkih in drugih industrijah.
Obstaja veliko vrst tarč za razprševanje in obstajajo različne metode za klasifikacijo tarč:
Glede na sestavo ga lahko razdelimo na kovinsko tarčo, tarčo iz zlitine in tarčo iz keramične spojine.
Glede na obliko ga lahko razdelimo na dolgo tarčo, kvadratno tarčo in okroglo tarčo.
Razdelimo ga lahko na mikroelektronsko tarčo, tarčo za magnetno snemanje, tarčo za optični disk, tarčo iz plemenitih kovin, tarčo odpornosti filma, tarčo prevodnega filma, tarčo za modifikacijo površine, tarčo za masko, tarčo za dekorativno plast, tarčo za elektrode in druge tarče glede na področje uporabe.
Glede na različne aplikacije ga lahko razdelimo na polprevodniške keramične tarče, srednje velike keramične tarče, prikazovalne keramične tarče, superprevodne keramične tarče in velikanske magnetorezistenčne keramične tarče.
Čas objave: 29. julij 2022