Kot vsi vemo, se vakuumsko izhlapevanje in ionsko razprševanje pogosto uporabljata pri vakuumskem premazovanju.Kakšna je razlika med nanosom z uparjanjem in nanosom z brizganjem?Nato bodo z nami delili tehnični strokovnjaki iz RSM.
Vakuumsko uparjevalni premaz je segrevanje materiala, ki ga je treba upariti, na določeno temperaturo s pomočjo uporovnega segrevanja ali obstreljevanja z elektronskim žarkom in laserjem v okolju s stopnjo vakuuma najmanj 10-2Pa, tako da energija toplotnih nihanja molekul oz. atomov v materialu presega vezno energijo površine, tako da veliko število molekul ali atomov izhlapi ali sublimira in se neposredno obori na substrat, da tvori film.Prevleka z ionskim naprševanjem uporablja visokohitrostno gibanje pozitivnih ionov, ki nastanejo s plinsko razelektritvijo pod delovanjem električnega polja, za bombardiranje tarče kot katode, tako da atomi ali molekule v tarči pobegnejo in se oborijo na površino prevlečenega obdelovanca, da tvorijo zahtevani film.
Najpogosteje uporabljena metoda vakuumskega izhlapevanja je uporovno ogrevanje, ki ima prednosti preproste strukture, nizkih stroškov in priročnega delovanja;Pomanjkljivost je, da ni primeren za ognjevzdržne kovine in dielektrične materiale, odporne na visoke temperature.Ogrevanje z elektronskim žarkom in lasersko ogrevanje lahko odpravita pomanjkljivosti uporovnega ogrevanja.Pri ogrevanju z elektronskim žarkom se usmerjeni elektronski žarek uporablja za neposredno segrevanje bombardiranega materiala, kinetična energija elektronskega žarka pa postane toplotna energija, zaradi česar material izhlapi.Lasersko segrevanje uporablja visoko zmogljiv laser kot vir ogrevanja, vendar ga je zaradi visokih stroškov visokozmogljivega laserja trenutno mogoče uporabiti le v nekaj raziskovalnih laboratorijih.
Tehnologija razprševanja se razlikuje od tehnologije vakuumskega izhlapevanja.»Razprševanje« se nanaša na pojav, da nabiti delci bombardirajo trdno površino (tarčo) in povzročijo, da trdni atomi ali molekule izstrelijo s površine.Večina emitiranih delcev je v atomskem stanju, ki ga pogosto imenujemo razpršeni atomi.Razpršeni delci, ki se uporabljajo za bombardiranje tarče, so lahko elektroni, ioni ali nevtralni delci.Ker je ione enostavno pospešiti pod električnim poljem, da pridobijo zahtevano kinetično energijo, jih večina uporablja ione kot obstreljene delce.Postopek razprševanja temelji na žareči razelektritvi, to pomeni, da razpršeni ioni izvirajo iz razelektritve plina.Različne tehnologije razprševanja uporabljajo različne načine žarečega praznjenja.Razprševanje z enosmerno diodo uporablja enosmerno žarečo razelektritev;Triodno razprševanje je žareča razelektritev, ki jo podpira vroča katoda;RF razprševanje uporablja RF žarečo razelektritev;Magnetronsko razprševanje je žareča razelektritev, ki jo nadzira obročasto magnetno polje.
V primerjavi s prevleko z vakuumskim izparevanjem ima prevleka z brizganjem veliko prednosti.Na primer, katero koli snov je mogoče razpršiti, zlasti elemente in spojine z visokim tališčem in nizkim parnim tlakom;Oprijem med napršeno folijo in podlago je dober;Visoka gostota filma;Debelino filma je mogoče nadzorovati in ponovljivost je dobra.Pomanjkljivost je, da je oprema zapletena in zahteva visokonapetostne naprave.
Poleg tega je kombinacija metode izhlapevanja in metode naprševanja ionska prevleka.Prednosti te metode so, da ima dobljeni film močan oprijem s substratom, visoko stopnjo nanašanja in visoko gostoto filma.
Čas objave: 20. julij 2022