1. Metoda magnetronskega razprševanja:
Magnetronsko razprševanje lahko razdelimo na enosmerno razprševanje, srednjefrekvenčno razprševanje in RF razprševanje.
A. Napajalnik z enosmernim razprševanjem je poceni in gostota nanesenega filma je slaba.Na splošno se domače fototermalne in tankoplastne baterije uporabljajo z nizko energijo, tarča za razprševanje pa je prevodna kovinska tarča.
B. Energija RF razprševanja je visoka in cilj razprševanja je lahko neprevoden ali prevoden cilj.
C. Srednjefrekvenčna tarča za razprševanje je lahko keramična tarča ali kovinska tarča.
2. Razvrstitev in uporaba razpršilnih tarč
Obstaja veliko vrst tarč za razprševanje in tudi metode razvrščanja tarč so različne.Po obliki jih delimo na dolgo tarčo, kvadratno tarčo in okroglo tarčo;Glede na sestavo ga lahko razdelimo na kovinsko tarčo, tarčo iz zlitine in tarčo iz keramične spojine;Glede na različna področja uporabe ga lahko razdelimo na keramične tarče, povezane s polprevodniki, keramične tarče za snemanje, keramične tarče za zaslon itd. Tarče za razprševanje se uporabljajo predvsem v elektronski in informacijski industriji, kot je industrija shranjevanja informacij.V tej industriji se tarče za razprševanje uporabljajo za pripravo ustreznih tankoslojnih izdelkov (trdi disk, magnetna glava, optični disk itd.).Trenutno.Z nenehnim razvojem informacijske industrije se povpraševanje po snemalnih srednjih keramičnih tarčah na trgu povečuje.Raziskave in proizvodnja snemalnih medijev so postale središče velike pozornosti.
Čas objave: 11. maja 2022