V zadnjih letih so se z napredkom tehnologije integriranih vezij (IC) hitro razvile povezane aplikacije integriranih vezij.Tarča za razprševanje iz aluminijeve zlitine ultra visoke čistosti kot podporni material pri izdelavi kovinskih povezav integriranega vezja je postala vroča tema nedavnih domačih raziskav.urednik RSM nam bo pokazal značilnosti tarče za razprševanje iz aluminijeve zlitine visoke čistosti.
Da bi še izboljšali učinkovitost razprševanja magnetronske razpršilne tarče in zagotovili kakovost nanesenih filmov, veliko število poskusov kaže, da obstajajo določene zahteve za sestavo, mikrostrukturo in orientacijo zrn razpršilne tarče iz aluminijeve zlitine ultra visoke čistosti.
Velikost zrn in orientacija zrn tarče imata velik vpliv na pripravo in lastnosti IC filmov.Rezultati kažejo, da se stopnja nanosa zmanjšuje s povečanjem velikosti zrn;Pri tarči za razprševanje z enako sestavo je hitrost brizganja tarče z majhno velikostjo zrn hitrejša kot pri tarči z veliko velikostjo zrn;Bolj kot je enakomerna velikost zrn tarče, bolj enakomerna je porazdelitev debeline nanesenih filmov.
Pri istem instrumentu za razprševanje in parametrih postopka se hitrost razprševanja tarče iz zlitine Al Cu povečuje s povečanjem atomske gostote, vendar je na splošno v določenem območju stabilna.Vpliv velikosti zrn na hitrost razprševanja je posledica spremembe atomske gostote s spremembo velikosti zrn;Na hitrost nanašanja vpliva predvsem orientacija zrn tarče iz zlitine Al Cu.Na podlagi zagotavljanja deleža (200) kristalnih ravnin bo povečanje deleža (111), (220) in (311) kristalnih ravnin povečalo hitrost nanašanja.
Velikost in orientacija zrn tarč iz aluminijeve zlitine ultra visoke čistosti se v glavnem prilagajata in nadzirata s homogenizacijo ingota, vročo obdelavo in rekristalizacijskim žarjenjem.Z razvojem velikosti rezin na 20,32 cm (8 palcev) in 30,48 cm (12 palcev) se povečuje tudi velikost tarče, kar postavlja višje zahteve za tarče za razprševanje iz aluminijeve zlitine ultra visoke čistosti.Da bi zagotovili kakovost filma in izkoristek, je treba ciljne parametre obdelave strogo nadzorovati, da bi bila ciljna mikrostruktura enakomerna, orientacija zrn pa mora imeti močne ravninske teksture (200) in (220).
Čas objave: 30. junij 2022