Karakteristične zahteve tarče za naprševanje molibdena

Nedavno je veliko prijateljev spraševalo o značilnostih tarč za razprševanje molibdena.Kakšne so zahteve glede lastnosti molibdenovih tarč za razprševanje v elektronski industriji, da bi izboljšali učinkovitost razprševanja in zagotovili kakovost nanesenih filmov?Zdaj nam bodo to pojasnili tehnični strokovnjaki iz RSM.

　　1. Čistost

Visoka čistost je osnovna značilna zahteva za tarčo za brizganje molibdena.Višja kot je čistost molibdenove tarče, boljša je učinkovitost napršenega filma.Na splošno mora biti čistost tarče za razprševanje molibdena vsaj 99,95 % (masni delež, enako spodaj).Z nenehnim izboljševanjem velikosti steklene podlage v industriji LCD je treba podaljšati dolžino ožičenja in tanjšati širino črte.Da bi zagotovili enakomernost filma in kakovost ožičenja, je treba ustrezno povečati tudi čistost tarče za naprševanje molibdena.Zato mora biti glede na velikost napršene steklene podlage in okolje uporabe čistost tarče za naprševanje molibdena 99,99 % – 99,999 % ali celo višja.

Molibdenova razpršilna tarča se uporablja kot katodni vir pri razprševanju.Nečistoče v trdnih snoveh ter kisik in vodna para v porah so glavni viri onesnaženja odloženih filmov.Poleg tega se v elektronski industriji zmogljivost originalne naprave zmanjša, ker ioni alkalijskih kovin (Na, K) zlahka postanejo mobilni ioni v izolacijski plasti;Elementi, kot sta uran (U) in titan (TI), bodo sproščeni rentgenski žarki α, kar bo povzročilo mehko okvaro naprav;Ioni železa in niklja bodo povzročili puščanje vmesnika in povečanje kisikovih elementov.Zato je treba v postopku priprave tarče za naprševanje molibdena te elemente nečistoč strogo nadzorovati, da se zmanjša njihova vsebnost v tarči.

　　2. Velikost zrn in velikostna porazdelitev

Na splošno je tarča za razprševanje molibdena polikristalna struktura, velikost zrn pa se lahko giblje od mikrona do milimetra.Eksperimentalni rezultati kažejo, da je hitrost razprševanja drobnozrnate tarče hitrejša kot pri grobo zrnati tarči;Pri tarči z majhno razliko v velikosti zrn je tudi porazdelitev debeline nanesenega filma bolj enakomerna.

　　3. Kristalna orientacija

Ker je ciljne atome enostavno prednostno razpršiti vzdolž smeri najbližje razporeditve atomov v heksagonalni smeri med razprševanjem, da bi dosegli najvišjo hitrost razprševanja, se hitrost razprševanja pogosto poveča s spremembo kristalne strukture tarče.Kristalna smer tarče ima tudi velik vpliv na enakomernost debeline napršenega filma.Zato je zelo pomembno pridobiti določeno kristalno usmerjeno ciljno strukturo za postopek razprševanja filma.

　　4. Zgostitev

Med postopkom nanašanja premaza z brizganjem, ko je tarča brizganja z nizko gostoto bombardirana, se plin, ki obstaja v notranjih porah tarče, nenadoma sprosti, kar povzroči brizganje delcev velike velikosti tarče ali delcev ali pa je filmski material bombardiran s sekundarnimi elektroni po nastanku filma, kar povzroči brizganje delcev.Pojav teh delcev bo zmanjšal kakovost filma.Da bi zmanjšali pore v trdni tarči in izboljšali učinkovitost filma, mora imeti tarča za naprševanje na splošno visoko gostoto.Za tarčo za razprševanje molibdena mora biti njegova relativna gostota več kot 98 %.

　　5. Vezava tarče in šasije

Na splošno je treba tarčo za razprševanje iz molibdena pred brizganjem povezati z ohišjem iz bakra brez kisika (ali aluminija in drugih materialov), tako da je toplotna prevodnost tarče in ohišja med postopkom brizganja dobra.Po vezavi je treba opraviti ultrazvočni pregled, da se zagotovi, da je površina, ki ni vezana, manjša od 2 %, da se izpolnijo zahteve visokozmogljivega naprševanja, ne da bi odpadla.