Kot vsi vemo, obstaja veliko specifikacij tarč za razprševanje, njihova področja uporabe pa so zelo široka.Tudi vrste tarč, ki se običajno uporabljajo na različnih področjih, so različne.Danes se z urednikom RSM poučimo o klasifikaciji področij uporabe tarč za razprševanje!
1、 Opredelitev cilja razprševanja
Razprševanje je ena glavnih tehnologij za pripravo tankoslojnih materialov.Uporablja ione, ki jih proizvaja vir ionov, za pospeševanje in zbiranje v vakuumu, da tvorijo ionski žarek visoke hitrosti, bombardirajo trdno površino, ioni pa izmenjujejo kinetično energijo z atomi na trdni površini, tako da atomi na trdni površini se ločijo od trdne snovi in nanesejo na površino substrata.Bombardirana trdna snov je surovina za pripravo tankega filma, nanesenega z brizganjem, ki se imenuje tarča za razprševanje.
2、 Razvrstitev področij uporabe tarč za razprševanje
1. Polprevodniška tarča
(1) Pogosti cilji: pogosti cilji na tem področju vključujejo kovine z visokim tališčem, kot so tantal/baker/titan/aluminij/zlato/nikelj.
(2) Uporaba: uporablja se predvsem kot ključne surovine za integrirana vezja.
(3) Zahteve glede zmogljivosti: visoke tehnične zahteve glede čistosti, velikosti, integracije itd.
2. Cilj za ploščati zaslon
(1) Pogosti cilji: pogosti cilji na tem področju vključujejo aluminij/baker/molibden/nikelj/niobij/silicij/krom itd.
(2) Uporaba: ta vrsta tarče se večinoma uporablja za različne vrste filmov z veliko površino, kot so televizorji in prenosniki.
(3) Zahteve glede zmogljivosti: visoke zahteve glede čistosti, velike površine, enotnosti itd.
3. Ciljni material za sončne celice
(1) Skupne tarče: aluminij/baker/molibden/krom/ITO/Ta in druge tarče za sončne celice.
(2) Uporaba: uporablja se predvsem v "okenski plasti", pregradni plasti, elektrodi in prevodnem filmu.
(3) Zahteve glede zmogljivosti: visoke tehnične zahteve in širok obseg uporabe.
4. Cilj za shranjevanje informacij
(1) Skupne tarče: skupne tarče iz kobalta/niklja/ferolegura/kroma/telurija/selena in drugih materialov za shranjevanje informacij.
(2) Uporaba: ta vrsta ciljnega materiala se uporablja predvsem za magnetno glavo, srednji sloj in spodnji sloj optičnega pogona in optičnega diska.
(3) Zahteve glede zmogljivosti: potrebna je visoka gostota shranjevanja in visoka hitrost prenosa.
5. Cilj za modifikacijo orodja
(1) Običajne tarče: običajne tarče, kot so zlitine titana/cirkonija/kroma in aluminija, spremenjene z orodji.
(2) Uporaba: običajno se uporablja za utrjevanje površin.
(3) Zahteve glede zmogljivosti: zahteve glede visoke zmogljivosti in dolga življenjska doba.
6. Tarče za elektronske naprave
(1) Skupne tarče: običajne tarče iz aluminijeve zlitine/silicida za elektronske naprave
(2) Namen: običajno se uporablja za tankoslojne upore in kondenzatorje.
(3) Zahteve glede zmogljivosti: majhnost, stabilnost, nizek temperaturni koeficient odpornosti
Čas objave: 27. julij 2022