Tehnični svetovalec RSM bo z vami delil prednosti cilindričnih in planarnih magnetronskih razpršilnih tarč?V primerjavi z drugimi tarčami za magnetronsko razprševanje cilindrične in ravninske tarče za magnetronsko razprševanje ohranjajo prednosti dobre enakomernosti prevleke pravokotnih ravnih tarč in lahko povečajo izkoristek tarč na naslednja dva načina:
(1) Ko dve skupini (štiri) obročastih jamic na površini tarče dosežeta določeno globino, je jedro tarče (magnetni del) mogoče zasukati za 45° glede na tarčno cev, tako da druga področja na tarčni cevi ki niso bili korodirani, se lahko uporabljajo;
(2) Če je tarčno jedro cilindrične in ravninske magnetronske tarče za razprševanje zasnovano kot vrteče se tarčno jedro (jedro tarče se vrti med naprševanjem), je mogoče površino tarče enakomerno napršiti plast za plastjo brez jamic.Takrat bo tarča uporabljena najučinkoviteje, stopnja izkoriščenosti tarče pa lahko doseže 50 % ~ 60 %. Ko je ciljni material plemenita kovina, je to očitno velikega pomena.
Z uporabo principa magneta s polovičnim čevljem v koaksialni cilindrični magnetronski tarči za razprševanje za rešitev problema končnega magnetnega polja se lahko pravokotna ravna tarča spremeni v cilindrično in planarno magnetronsko tarčo za razprševanje. Tarča lahko poveča stopnjo izkoriščenosti tarče. ob ohranjanju dobre enakomernosti premaza pravokotne ravninske tarče, da se izboljšajo gospodarske koristi.
Čas objave: 4. julij 2022